Турбомолекулярные насосы и комплектующие


Турбомолекулярные насосы Turbo-V Navigator фирмы Varian Vacuum Technologies Inc. — это серия агрегатов последнего поколения с диапазоном производительности от 70 до 6000 л/с, используемых в самых различных сферах. Они просты в применении, компактны, надежны, не требуют смазки и обслуживания в течение всего срока эксплуатации. Агрегаты выполнены с использованием керамических подшипников, имеют встраиваемый блок управления, способны работать в любой ориентации. Охлаждение насосов — обычно воздушное. Контроль всех операционных параметров осуществляется с помощью микропроцессора. Кроме того, управление и контроль параметров можно осуществлять с помощью ПК в режиме реального времени.

В конструкции насосов применена новая концепция МасrоТоrr — использование дополнительных молекулярных стадий. Она обеспечивает устойчивую работу агрегатов в диапазоне 10-2–10-10 мбар. Благодаря наличию ступеней MacroTorr насосы работают при достаточно высоком давлении на форвакуумном фланце (до 13, 5 мбар). Уровень их вибрации на входном фланце составляет менее 0, 01 мкм.

Агрегаты работают при повышенном значении напряженности магнитного поля: 50 Гс в поперечном и 300 Гс в продольном направлении. Созданные в соответствии с жесткими промышленными требованиями, они способны быстро восстанавливать работоспособность при аварийной разгерметизации систем. Рабочий ресурс насосов до появления первых неисправностей составляет 100–120 тыс. ч.

На стенде ООО «Криосистемы» можно было познакомиться с еще одним новым для российского рынка видом оборудования — турбомолекулярными насосами на магнитной подвеске японской компании Shimadzu («Шимадзу»). Эти агрегаты могут работать в любых производственных условиях и имеют очень широкую сферу применения: масс-спектрометрия, электронные микроскопы, установки анализа структуры поверхности, гелиевые течеискатели, ускорители частиц, имитаторы космического пространства, процессы плазменного травления, полупроводниковая имплантация и др.

Насосы отличаются высокой надежностью в условиях реальной эксплуатации: среднее время их наработки на отказ составляет 13, 7 лет. Конструкция насоса (ротор на магнитной подвеске) исключает износ, а также попадание любых загрязнений в рабочий объем. Производительность можно плавно регулировать в диапазоне от 25 до 100%.
Агрегаты сохраняют работоспособность после случайного прорыва атмосферы, имеют внутреннюю защиту от внезапного отключения электроэнергии. Устанавливают их как в горизонтальном положении, так и под любым углом. Контроллер насосов снабжен функциями быстрой диагностики проблем и определения состояния. Коммуникационная связь осуществляется через последовательные порты RS-232C, RS-485. Широкий модельный ряд оборудования включает агрегаты со скоростями откачки по азоту от 190 до 4200 л/с и получением предельного вакуума 10-11 Торр.

Рекомендуем:  Компактная ударная дрель-шуруповерт Bosch PSB 10,8 LI-2

В начале мая ООО «НТЦ «Системы экологической безопасности»» (г. Новосибирск) предполагает запустить в серийное производство новую модель электропривода турбомолекулярного насоса ЭПТ-100. Привод разработан для питания трехфазных синхронных гистерезисных электродвигателей насосов с быстротой откачки 40 и 100 л/с. Выполнен он как термопреобразователь ТСП-8052  частоты, который осуществляет частотный пуск и обеспечивает постоянство момента на валу двигателя, а также минимальное время разгона и потери в двигателе.

Новый электропривод в несколько раз меньше применяемого в настоящее время блока питания БПТ-100. Его габариты составляют всего 160x160x100 против 260x135x486 мм, а масса — 1, 2 вместо 7, 5 кг. Кроме того, он отличается более широкими функциональными возможностями.

ЭПТ-100 имеет ЖК-экран, на котором в постоянном режиме отображаются такие параметры как напряжение и ток электродвигателя, степень разрежения на входе насоса, режим его работы. На передней панели устройства имеются кнопки управления «пуск», «стоп», «меню индикации» «режим основной/режим дежурный», «дистанционное/ручное». С помощью меню устанавливаются, в частности, время разгона насоса, степень разрежения его входной ступени, температура контроля нижнего подшипника. Помимо этого в меню задаются значения блокировки по току в зависимости от типа электродвигателя, блокировки по вакууму, режим работы насоса (100 и 80%). Схема электропривода предусматривает возможность выключения и повторного включения в любых рабочих режимах.

Ссылка на основную публикацию
Adblock
detector